L’industrie de la fabrication de semi-conducteurs a des exigences extrêmement strictes en matière de précision des composants, de propreté, de résistance à haute température et de non-contamination. Les billes de nitrure de silicium sont devenues des composants essentiels dans les équipements de production de semi-conducteurs en raison de leur taille ultra-précision, de leur stabilité chimique et de leurs caractéristiques de non-pollution.
Dans les équipements de traitement des plaquettes, les roulements de haute précision utilisent des billes de nitrure de silicium comme corps de roulement. La production de plaquettes semi-conducteurs nécessite un environnement ultra-propre et aucune pollution par les particules métalliques. Les billes en acier traditionnelles sont faciles à produire des débris d’usure du métal, ce qui causera une contamination des plaquettes et une perte de rendement. Les boules de nitrure de silicium sont en céramique sans rejet de métal, maintenant une grande propreté pendant longtemps et répondant entièrement aux normes de salle propre de semi-conducteur.
Les fours de diffusion à haute température et les fours d’oxydation sont des équipements clés dans la fabrication de copeaux. La structure interne de support rotatif a besoin de composants capables de résister à l’érosion à long terme des températures élevées et de l’atmosphère chimique. Les billes de nitrure de silicium gardent des performances mécaniques stables sous 1200℃ condition de travail continu, pas facile à adoucir, déformer ou réagir avec le gaz de processus. Ils supportent efficacement la transmission et la structure tournante à l’intérieur du four.
Dans les équipements de lithographie et les plates-formes de positionnement de précision, les microbilles de nitrure de silicium sont utilisées pour le guidage et le nivellement de précision. Leur ultra-rondeur, leur rugosité de surface ultra-basse et leur tolérance de taille stable assurent une précision de positionnement à l’échelle nanométrique. Les propriétés non magnétiques et isolantes évitent les interférences avec les systèmes de contrôle optiques et électroniques des machines de lithographie.
Les billes de nitrure de silicium sont également largement appliquées dans les équipements de vide de semi-conducteurs. Dans un environnement sous vide élevé, les matériaux métalliques sont sujets à dégazage et à l’oxydation, tandis que la céramique de nitrure de silicium a un taux de dégazage extrêmement bas et une inertie chimique stable. Il ne libérera pas de substances volatiles pour polluer la cavité de vide, assurant le degré stable de vide et la cohérence de processus.
Avec la mise à niveau continue du processus de fabrication de puces à semi-conducteurs vers des nœuds avancés, la demande de composants ultra-précis, hautement propres et résistants aux températures élevées ne cesse d’augmenter. Les billes de nitrure de silicium occuperont une position plus importante dans le soutien des équipements de semi-conducteurs, devenant un matériau de base clé soutenant le développement de l’industrie des puces.
