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Pompe à vide semi-conducteur
Dans le processus de fabrication des circuits intégrés, des écrans plats et des dispositifs optoélectroniques, étant donné que les matériaux semi-conducteurs doivent être traités à haute température et subir de multiples dépositions de film, une pompe à vide est nécessaire pour maintenir les conditions de laboratoire correspondantes. L’utilisation de billes en céramique de nitrure de silicium pressées isostatiquement à haute performance et de voies de roulement de plus haute précision spécialement traitées dans les pompes à vide permet aux roulements d’avoir des performances incroyables en termes de température élevée, de vitesse élevée, de vibrations basses, de pollution élevée, de lubrification insuffisante, de fiabilité élevée et de longue durée de vie. Les roulements de pompe à vide en nitrure de silicium peuvent fonctionner en continu pendant plus de 30 000 heures lorsque DmN < 500 000.
