Les robots de manipulation de plaquettes sont essentiels pour transférer les plaquettes entre les étapes de traitement avec zéro contamination et une grande précision. Les roulements utilisant des billes de nitrure de silicium (Si3N4) améliorent la précision des mouvements et réduisent les risques opérationnels.
Alignement et mouvement en douceur
Les manipulateurs robotisés de plaquettes nécessitent un mouvement linéaire et rotatif parfaitement lisse pour éviter les rayures de plaquettes ou le mauvais positionnement. La rigidité élevée et la faible densité des billes Si3N4 assurent un mouvement en douceur et un alignement précis dans les actionneurs robotiques.
Amortissement des vibrations et performances à haute vitesse
Les robots à grande vitesse génèrent des forces dynamiques. Les billes Si3N4 réduisent les forces centrifuges et les vibrations par rapport à l’acier, permettant un mouvement plus rapide sans compromettre la précision.
Salle blanche et contrôle de la Contamination
Il est essentiel de maintenir les normes des salles blanches. La résistance à l’usure des billes Si3N4 empêche le rejet de particules, réduit le risque de contamination et assure l’intégrité de la surface des plaquettes pendant le transfert.
Durabilité en fonctionnement continu
Les fabs à semi-conducteurs fonctionnent 24 heures sur 24 et 7 jours sur 7. Les billes Si3N4 résistent à des millions de cycles sans fatigue, prolongeant la durée de vie des roulements robotisés et minimisant les temps d’arrêt pour la maintenance.
Soutenir la fabrication de noeuds avancés
À mesure que les noeuds de semi-conducteurs se rétrécissent, les exigences en matière de précision et de fiabilité pour la manipulation des tranches augmentent. Les billes de nitrure de silicium (Si3N4) permettent aux robots de répondre à ces normes strictes en maintenant un mouvement précis et reproductible.
Conclusion Conclusion
L’intégration de billes de nitrure de silicium (Si3N4) dans les robots de manipulation de plaquettes améliore la précision des mouvements, réduit la contamination et améliore la fiabilité, soutenant la fabrication de semi-conducteurs à haut rendement.
