Tige d’essai en céramique en nitrure de silicium

Introduction du produit de tiges d’essai en céramique en nitrure de silicium

Les tiges d’essai en céramique en nitrure de silicium sont constituées d’un matériau céramique structurel à haute performance formé par la liaison covalente d’éléments de silicium (Si) et d’azote (N). Ce matériau possède une dureté élevée, une résistance élevée à l’usure, une résistance à haute température et une excellente stabilité chimique, présentant des performances supérieures dans des environnements industriels extrêmes.

Caractéristiques et avantages du produit

1.Résistance environnementale exceptionnelle:Maintient une résistance à la flexion de 1200 MPa même à 1200℃, ce qui est trois fois plus élevé que les matériaux de quartz traditionnels.

2.Pureté de Cleanroom-Grade:La lixiviation d’ions métalliques est < 0,01 PPB, contrôlant le taux de contamination des plaquettes de 12 pouces à moins d’une partie par million.

3.Résistance à la Corrosion:Le taux de Corrosion est < 0,001 mm/ an dans le milieu concentré d’acide sulfurique de 98% (120℃/35MPa), 20 fois mieux que l’acier inoxydable 316L.

4.Propriétés auto-lubrifiantes:Le coefficient de frottement est aussi bas que 0.05-0.1, réduisant considérablement la consommation d’énergie et les coûts de maintenance.

5.Résistance aux chocs thermiques:Peut résister à des différences de température de 800℃, avec une durée de vie de cycle de choc thermique supérieure à 10 cycles ⁵.

Champs d’application

1.Fabrication de semi-conducteurs:Robots de transfert de plaquettes, buses de pulvérisation d’équipements de gravure, composants d’équipement de traitement thermique.

2.Équipement à haute température:Rouleaux de roulement, attaches aérospatiales, composants de moteur.

3.Équipement chimique:Pompes à piston haute pression, tuyaux résistants à la corrosion, vannes.

4.Machines de précision:Tiges de mesure de haute précision, douilles résistantes à l’usure, outils de coupe.

Supports custom specifications.