Mandrin électrostatique (ESC)
Utilisant des matériaux diélectriques tels que l’oxyde d’aluminium, il réalise une adsorption non dommageable par un champ électrostatique, adapté aux procédés plasma. Il existe deux types de structures: le type Coulomb et le type JR. Ce dernier a une force d’adsorption plus forte mais nécessite une tension inverse pour la désorption.
Advantages compared to traditional suction cups
characteristic | Ceramic suction cup | Traditional metal suction cups |
Adsorption uniformity | The microporous structure prevents local deformation. | Easily leads to wafer warping. |
Anti-static properties | Insulating materials eliminate electrostatic interference. | Additional anti-static treatment is required. |
Applicable scenarios | Ultra-thin wafers, high-precision manufacturing process | Routine handling, low-level manufacturing |
Supports custom specifications.
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