Les mandriers de vide en céramique d’alumine, en tant que composants de noyau des équipements de semi-conducteurs, ont les caractéristiques techniques et les scénarios d’application suivants:
Types de produits et caractéristiques techniques
1.Mandrins poreux en céramique sous vide:Fabriqué à partir de matériaux tels que l’alumine ou le carbure de silicium, avec une porosité de 30% à 50% et des tailles de pores dans la gamme micron, assurant une force d’aspiration et une perméabilité uniformes. Ils possèdent une planéité élevée, une résistance à l’usure et une stabilité chimique, réduisant ainsi les rayures de surface des plaquettes et la contamination par les particules.
2.Applications typiques:Amincissement, coupe, broyage des plaquettes et autres processus, adaptés aux plaquettes de 2-12 pouces et aux exigences personnalisées non standard.
Scénarios d’application dans la fabrication de semi-conducteurs
1.Processus Front-end:
Machines de lithographie: utilisées comme composants de plate-forme mobile, travaillant avec des manteaux électrostatiques pour atteindre une précision de positionnement au niveau nanométrique.
Machines à graver: utilisées dans les chambres, les plaques de distribution de gaz, etc., pour résister aux environnements de gravure plasma.
2.Emballage Back-end:
Résoudre le défi de la manipulation de plaquettes ultra-minces et éviter la contamination par les microfissures causées par le serrage mécanique.
Supports custom specifications.
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