Rotation de précision dans le traitement des plaquettes
Les équipements de meulage, d’amincissement et de polissage des plaquettes reposent sur des broches ultra-précises à grande vitesse. La stabilité à haut régime affecte directement la planéité des plaquettes et l’intégrité des bords. Les billes de roulement en nitrure de silicium améliorent les systèmes de broche en améliorant la capacité de vitesse, en réduisant les vibrations et en stabilisant le comportement thermique.
Densité inférieure, capacité de vitesse plus élevée
Comparé à l’acier, le nitrure de silicium réduit la masse de rotation. Il en résulte:
1, force centrifuge inférieure
2, accumulation réduite de chaleur
3, accélération et décélération améliorées
Pour les broches à semi-conducteurs, cela permet un régime de fonctionnement plus élevé avec un meilleur équilibre dynamique.
Stabilité thermique et contrôle dimensionnel
La rotation à grande vitesse génère de la chaleur qui peut modifier la précontrainte. La faible dilatation thermique du nitrure de silicium assure une géométrie des roulements plus cohérente, protégeant la précision de la broche.
Protection électrique dans les ensembles motorisés
Les entraînements à fréquence Variable peuvent induire une décharge électrique à travers les roulements. Les éléments de roulement en céramique éliminent ce risque, évitant ainsi des dommages prématurés.
Avantages de la qualité du processus
Des vibrations plus faibles et une précharge stable améliorent la qualité de surface des plaquettes et le contrôle dimensionnel dans le traitement avancé des semi-conducteurs.
