Exigences en matière d’automatisation dans les usines modernes
Des robots de transfert de plaquettes connectent des chambres de processus dans des outils de cluster. Ces systèmes robotiques doivent fonctionner de manière propre et continue. L’intégration de billes de roulement en nitrure de silicium dans les roulements hybrides améliore la précision et le contrôle de la contamination.
Compatibilité salle blanche
La contamination par les particules métalliques peut compromettre le rendement. Éléments roulants en céramique:
1, résistent à l’usure
2, produisent moins de particules
3, maintiennent des surfaces lisses au fil du temps
Ceci prend en charge les exigences strictes de salle blanche.
Dynamique légère pour un temps de Cycle plus rapide
La réduction de la masse des éléments de roulement améliore:
1, réponse Servo
2, accélération
3, répétabilité de position
Cela augmente le débit de plaquettes dans les fabs automatisés.
Résistance à la Corrosion et à la Fatigue
Les systèmes robotiques peuvent être exposés à des substances chimiques mineures. La stabilité chimique du nitrure de silicium préserve l’intégrité des roulements à long terme.
Fiabilité à long terme
Un fonctionnement continu 24/7 exige une durée de vie prolongée. Les roulements céramiques hybrides offrent une résistance à la fatigue améliorée par rapport aux conceptions entièrement en acier.
