Nitrure de silicium substrat céramique

Vickers hardness (Hv50):HV0.5>1550

Module élastique (20°C):Gpa 290

Bending strength(20°C):Mpa >600

Résistance à la compression (20°C):Mpa 2500

Fracture toughness (20°C):Mpa·m¹/² >6.0

Aperçu général
spécification
Foire aux questions
Si₃N₄ ingénierie céramique substrat

Nitrure de silicium substrat céramique

Substrats céramiques en nitrure de silicium haute performance conçus pour les applications électroniques à haute puissance, haute fiabilité et haute température où la gestion thermique, la résistance mécanique, la résistance aux chocs thermiques et l’isolation électrique sont critiques.............

Si₃N₄ matérielÉlectronique de haute puissanceRésistance aux chocs thermiquesIsolation électriqueSubstrat sur mesure

Qu’est-ce qu’un substrat céramique de nitrure de silicium?

A aNitrure de silicium substrat céramiqueEst un composant céramique électronique fabriqué à partir de nitrure de silicium (Si₃N₄). Il sert de plateforme structurale, isolante et de gestion thermique pour les appareils et modules électroniques de haute puissance.

Contrairement à un composant céramique structurel conventionnel, un substrat en nitrure de silicium doit satisfaire simultanément aux exigences thermiques, mécaniques et électriques. Il est donc particulièrement pertinent pour l’emballage de semi-conducteurs de puissance, l’électronique à haute température et les applications dans lesquelles le cycle thermique répété peut placer une contrainte importante sur le substrat.

Les informations sources fournies décrivent les substrats Si₃NConductivité thermique, résistance mécanique et résistance aux chocs thermiques....... Le matériau est également décrit comme offrant une isolation électrique, une stabilité chimique et un comportement de dilatation thermique compatible avec les dispositifs d’alimentation à base de si.

Selon l’application, le substrat peut être fourni avec différentsÉpaisseurs, finitions de surface, revêtements métallisés et géométries complexes....... Cela rend les substrats céramiques en nitrure de silicium adaptés aux emballages électroniques personnalisés et aux conceptions de modules d’alimentation.

Propriétés des matériaux en nitrure de silicium pour substrats céramiques

Le nitrure de silicium fournit la base matérielle pour le substrat et#39; s performances thermiques, mécaniques et électriques. Les valeurs ci-dessous sont extraites du document fourni. Comme la source indique que les caractéristiques varient selon la méthode de fabrication, ces valeurs doivent être traitées comme des données de référence plutôt que comme des spécifications universelles pour chaque substrat Si₃N₄.

Haute Performance thermique

Le document introduction fait état de la conductivité thermique des80-90 W/(m·K), tandis que son tableau de représentation matérielle énumère15-20 W/(m·K)....... La différence doit être évaluée par rapport à la qualité du matériau et à la méthode de fabrication.

Faible dilatation thermique

L’introduction du document donne un coefficient de dilatation thermique d’environ3.2 × 10⁻⁶/°C, alors que le tableau de rendement rapporte plus de3.1 × 10⁻⁶K k⁻¹Au-dessus de 20-1000°C.

Haute résistance mécanique

Les données de référence énumèrent la résistance à la flexion ci-dessus600 MPaEt résistance à la compression d’environ2500 MPa.

Résistance à la rupture

Le tableau des performances des matériaux donne la ténacité à la rupture ci-dessus.6,0 MPa·m1/2 1/2 1/2 1/2 1/2, soutenant la résistance à la fissuration sous des contraintes mécaniques et thermiques.

Résistance aux chocs thermiques

Le tableau de performance fourni fait état d’une stabilité aux chocs thermiques d’environ500°C, une propriété importante pour les substrats électroniques soumis à des changements répétés de température.

Isolation électrique

Les données de référence rapportent la résistance du volume de1012Ω·cm à 20°CEt résistance diélectrique d’environ1 kV/mm.

Données d’application de substrat céramique en nitrure de silicium

Le tableau suivant organise les données sur les matériaux fournies dans le document source en paramètres pertinents pour la conception de substrats électroniques.

La propriétéDonnées de référencePertinence du substrat
La couleurGris noiridentification visuelle typique du matériel fourni
densité> ³ de 3,2 g/cmPertinent pour la masse du substrat et la conception mécanique
Dureté rockwellHRA90Indique une dureté de surface élevée
Dureté vickers>1550 HV0.5Soutient la durabilité de surface et l’intégrité mécanique
Module élastique290 GPa à 20°CPertinents pour la rigidité structurelle et la conception thermomécanique
Résistance à la flexion>600 MPa à 20°CSoutient la résistance mécanique de substrat en céramique mince
Résistance à la compression2500 MPa à 20°CUtile pour les paquets électroniques chargés mécaniquement
Résistance à la rupture> 6,0 MPa·m1/2Supporte la résistance à la propagation des fissures
Conductivité thermique15-20 W/(m·K) dans le tableau de performance; 80-90 W/(m·K) dans l’introduction du documentLa représentation de dissipation thermique devrait être confirmée pour la catégorie choisie et l’itinéraire de fabrication
Expansion thermique> 3,1 × 10-6 -6 K-1, 20-1000°CImportant pour la compatibilité thermique et le cyclage
Stabilité aux chocs thermiquesΔT 500°CSupporte la résistance aux changements rapides de température
Température maximale de fonctionnement dans l’air1200°CValeur de référence pour les environnements à haute température
Résistance diélectrique1 kV/mmParamètre d’isolation électrique
Résistance au volume à 20°C1012Ω·cmPrend en charge l’isolation électrique dans les emballages électroniques

note technique: le document fourni indique que l’information ci-dessus est à titre de comparaison seulement et que les caractéristiques exactes varient selon la méthode de fabrication. Les spécifications du produit final doivent donc être confirmées par rapport à la voie de fabrication choisie et aux exigences du client.

Nitrure de silicium substrat céramique attributs des composants

Gestion thermique

Les substrats si ₃N₄ sont conçus pour fournir un chemin thermique aux appareils électroniques de haute puissance, aidant à transférer la chaleur loin des composants actifs.

Intégrité mécanique

La résistance à la flexion élevée, la résistance à la compression et la ténacité à la rupture fournissent un support structurel pour l’emballage électronique.

Stabilité du cycle thermique

La stabilité aux chocs thermiques signalée rend Si₃N₄ adapté aux applications exposées à des changements de température répétés ou rapides.

Isolation électrique

La résistance au volume élevé et la résistance diélectrique permettent au substrat céramique d’agir comme une plate-forme d’isolation électrique dans les ensembles électroniques de puissance.

Compatibilité SiC

La source décrit le comportement de dilatation thermique de Si₃N₄ le plus proche du SiC, ce qui le rend pertinent pour les dispositifs d’alimentation à semi-conducteurs de troisième génération.

Stabilité chimique

Le nitrure de silicium offre une stabilité chimique et une résistance à la corrosion pour les systèmes électroniques fonctionnant dans des environnements exigeants.

Spécifications de substrat céramique de nitrure de silicium

Le document fourni identifie spécifiquement l’épaisseur, la finition de surface, le revêtement métallisé et la géométrie complexe comme paramètres de substrat personnalisables. Les dimensions finales et les exigences électriques ou thermiques devraient être déterminées en fonction de la conception électronique du colis.

1. Épaisseur du substrat

L’épaisseur faite sur commande peut être spécifiée selon la résistance mécanique, le chemin thermique et les conditions d’emballage électronique.

2. Finition de surface

La finition de surface peut être choisie en fonction des exigences de montage, de métallisation, de collage et d’interface d’emballage.

3. Revêtement métallisé

La source identifieAu, Ag, Cu et AlComme options de revêtement métallisé disponibles.

4. Géométrie du substrat

Des géométries complexes peuvent être développées pour des exigences spécifiques d’intégration d’emballages électroniques et d’appareils.

5. Catégorie matérielle

Les caractéristiques des matériaux doivent être adaptées aux performances thermiques, mécaniques et électriques requises.

6. Exigences électriques

La résistance diélectrique et la résistance volumique peuvent être prises en compte lors de la définition des spécifications du substrat.

Substrat céramique en nitrure de silicium métallisé

La métallisation est une option de personnalisation importante pour les substrats céramiques en nitrure de silicium utilisés dans les emballages électroniques. Selon le document fourni, des substrats peuvent être fournis avecOr (Au), argent (Ag), cuivre (Cu) et aluminium (Al)Revêtements métallisés.

Métallisation au

Disponible en option de métallisation spécifique pour les conceptions de substrat électronique.

Métallisation ag

Peut être spécifié lorsque la métallisation à base d’argent est requise par la conception du colis.

Métallisation cu

Convient aux conceptions de substrat nécessitant des structures métallisées en cuivre.

Métallisation al

Disponible comme autre option de revêtement métallique indiquée dans le document source.

6 domaines d’application de substrats céramiques en nitrure de silicium

01

Électronique de puissance

Utilisé pour les modules électroniques de haute puissance comprenantmodules IGBT et MOSFET, où la gestion thermique, l’isolation électrique et la fiabilité mécanique sont importantes.

02

Véhicules électriques & hybrides

Applicable à l’électronique de puissance de véhicule telle queEntraînements de moteur et inverseurs, où la gestion thermique compacte et la résistance au cycle thermique sont pertinentes.

03

Systèmes d’énergie renouvelable

Utilisé dans l’équipement de conversion de puissance tel queBornes de recharge EV et onduleurs solaires, où les composants électroniques peuvent générer une chaleur importante.

04

Aérospatiale et électronique de défense

Convient aux applications d’emballage électronique de haute fiabilité sélectionnées où le cycle thermique, l’intégrité mécanique et l’isolation électrique sont requis.

05

Electronique industrielle

La source identifieCapteurs à haute température et composants RFComme applications industrielles pour les substrats céramiques Si₃N₄.

06

Emballage avancé pour semi-conducteurs

Les substrats en nitrure de silicium sont pertinents pour l’emballage avancé de semi-conducteurs et de troisième générationDispositif de puissance SiCapplications nécessitant des performances thermiques, mécaniques et électriques.

Équipements et systèmes utilisant des substrats céramiques en nitrure de silicium

Modules semi-conducteurs de puissance

Emballage de modules de puissance IGBT et MOSFET.

Systèmes d’inverseur EV

Entraînements de moteur et ensembles onduleurs pour véhicules électriques et hybrides.

Onduleurs solaires

Les équipements de conversion d’énergie utilisés dans les systèmes d’énergie renouvelable.

Équipement de charge EV

Systèmes de charge haute puissance nécessitant une gestion thermique et électrique.

Équipement électronique RF

Composants électroniques RF et haute fréquence sélectionnés.

Capteurs haute température

Emballage de capteurs et systèmes électroniques industriels exposés à des températures élevées.

Nitrure de silicium substrat céramique vs nitrure d’aluminium

Le document fourni compare Si₃N₄ au nitrure d’aluminium (AlN). Selon cette source, AlN pourrait fournir une conductivité thermique plus élevée dans certaines applications, tandis que Si₃N₄ est décrit comme présentant des avantages en termes de résistance mécanique, de résistance à la rupture, de résistance aux chocs thermiques et de compatibilité avec les dispositifs SiC.

Point de comparaisonSi₃N₄ selon la SourceImportance de l’application
Résistance mécaniqueHaute résistance mécanique; La source indique un avantage par rapport à l’alnUtile pour les paquets électroniques exigeants mécaniquement
Résistance à la ruptureLa source décrit une ténacité à la rupture plus élevée que AlNAide à traiter les risques de fissuration sous contrainte mécanique ou thermique
Choc thermiqueExcellente résistance aux chocs thermiquesConcernant le cycle thermique répété
Compatibilité SiCLa source décrit une correspondance plus étroite entre CTE et SiCUtile pour l’emballage de troisième génération SiC power-device
Conductivité thermiqueLa source note que l’aln peut avoir une conductivité thermique plus élevéeLa sélection des matériaux devrait tenir compte de la conception thermomécanique complète

Procédé de fabrication de substrat céramique en nitrure de silicium

Le document fourni ne fournit pas un flux de fabrication étape par étape. La section suivante décrit donc une séquence de production d’ingénierie générale pour des substrats personnalisés Si₃N₄ plutôt que de la présenter comme un processus copié à partir du document source.

1. Sélection des matériaux

Choisir le système de matériau en nitrure de silicium en fonction des exigences thermiques, mécaniques, électriques et dimensionnelles.

2. Préparation de poudre

Préparer et conditionner la poudre céramique pour obtenir des caractéristiques de formage et de densification appropriées.

3. Formation de substrat

Former le corps en céramique selon les dimensions et la géométrie requises du support.

4. frittage

Densifier le corps céramique en utilisant une voie de frittage contrôlée choisie pour les caractéristiques requises du matériau.

5. Usinage de précision

Moudre et terminer le substrat pour obtenir les dimensions, la planéité, l’état de surface et la géométrie spécifiées.

6. Finition de surface

Traitez la surface selon les exigences de montage, de métallisation et d’emballage électronique.

7. métallisation

Appliquer le revêtement métallisé Au, Ag, Cu ou Al spécifié lorsque la conception électronique du colis l’exige.

8. Inspection

Inspectez les dimensions, l’état de surface et les exigences spécifiques à l’application avant la livraison.

Considérations relatives à la conception du substrat céramique en nitrure de silicium

Charge thermique

Définir la génération de chaleur de l’appareil, le chemin thermique et les performances de dissipation de chaleur requises.

Cyclisme thermique

Envisager les cycles de chauffage et de refroidissement, car la dilatation et la contraction thermiques répétées peuvent influer sur la fiabilité du colis.

Contrainte mécanique

L’épaisseur du substrat, la géométrie, la méthode de montage et la structure du colis devraient être considérées ensemble.

Isolation électrique

La résistance diélectrique et la résistance volumique doivent être adaptées aux exigences de tension et d’isolation de l’ensemble électronique.

métallisation

Sélectionnez la métallisation Au, Ag, Cu ou Al selon l’architecture du paquet électrique et les exigences de liaison.

Exigences de surface

La finition de surface et l’exactitude dimensionnelle devraient être spécifiées selon le substrate' s exigences de montage et de métallisation.

Pourquoi choisir XIAMEN HUACIJULI pour les substrats en céramique de nitrure de silicium?

XIAMEN HUACIJULI fournit des solutions de composants céramiques en nitrure de silicium orientées ingénierie pour des applications personnalisées. Pour les substrats en céramique, le matériel, la géométrie, l’état de surface et les conditions de métallisation peuvent être évalués selon le client et#39; s application.

Si₃N₄ matériel Focus

Sélection de matériaux ciblés pour les applications céramiques au nitrure de silicium nécessitant des performances thermiques, mécaniques et électriques.

Géométrie de substrat sur mesure

Les dimensions des substrats et les géométries complexes peuvent être développées selon des dessins techniques.

Ingénierie des surfaces

La finition de surface peut être considérée comme faisant partie de la conception globale du substrat plutôt que d’être traitée comme un paramètre isolé.

Options de métallisation

Les informations produits fournies identifient Au, Ag, Cu et Al comme options de métallisation.

Développement basé sur les applications

La configuration des matériaux et des substrats peut être considérée en même temps que les exigences thermiques, électriques et mécaniques.

OEM & composants personnalisés

Des composants de substrat en nitrure de silicium personnalisés peuvent être développés à partir des dessins du client et des spécifications techniques.

Comment spécifier un substrat céramique en nitrure de silicium

Pour un devis personnalisé de substrat Si₃N₄, les informations suivantes permettent de définir les exigences en matière et en composant:

  1. 1. dimensions du substrat:Longueur, largeur, épaisseur et géométrie globale.

  2. 2. Exigences thermiques:Conductivité thermique requise, température de fonctionnement et conditions de cycle thermique.

  3. 3. Exigences électriques:Exigences d’isolation, de résistance diélectrique et de résistance de volume.

  4. 4. Exigences mécaniques:Résistance à la flexion, résistance à la rupture, contrainte de montage et exigences structurelles.

  5. 5. Finition de surface:État de surface requis pour le collage, le montage ou la métallisation.

  6. 6. Métallisation:Exigences de revêtement au, Ag, Cu ou Al, le cas échéant.

  7. 7. Application:module de puissance, inverseur EV, énergie renouvelable, aérospatiale, RF ou électronique industrielle.

Nitrure de silicium substrat céramique FAQ

Qu’est-ce qu’un substrat céramique de nitrure de silicium?

Un substrat céramique en nitrure de silicium est une plateforme céramique Si₃N₄ utilisée dans les emballages électroniques et les applications électroniques à haute puissance. Il combine la gestion thermique, le support mécanique et les fonctions d’isolation électrique.

Pourquoi le nitrure de silicium est-il utilisé pour les substrats électroniques de puissance?

Le nitrure de silicium offre une combinaison de performances thermiques, de résistance mécanique, de résistance à la rupture, de résistance aux chocs thermiques et d’isolation électrique. Ces propriétés sont pertinentes pour les emballages électroniques à haute puissance et haute fiabilité.

Quelle est la conductivité thermique du substrat de nitrure de silicium?

Le document fourni fait état de deux références de conductivité thermique: 80-90 W/(m·K) dans son introduction et 15-20 W/(m·K) dans son tableau de performance détaillé. Le document indique également que les caractéristiques exactes varient selon la méthode de fabrication, de sorte que la valeur applicable doit être confirmée pour le matériau choisi et la voie de production.

Quelles sont les propriétés mécaniques du substrat Si₃N₄?

Le tableau de performance fourni indique une résistance à la flexion supérieure à 600 MPa, une résistance à la compression de 2500 MPa, une résistance à la rupture supérieure à 6,0 MPa·m¹/², un module élastique de 290 GPa, une dureté Rockwell HRA90 et une dureté Vickers supérieure à 1550 HV0.5.

Quelle est la température de fonctionnement maximale du substrat de nitrure de silicium?

Le tableau de performances fourni donne une température maximale de fonctionnement dans l’air d’environ 1200°C. La température de fonctionnement admissible réelle dépend du matériau, de la géométrie, de l’atmosphère, du cycle thermique et des conditions d’application.

Les substrats céramiques en nitrure de silicium peuvent-ils être métallisés?

Oui. Le document fourni identifie Au, Ag, Cu et Al comme options de revêtement métallisé disponibles pour les substrats personnalisés en nitrure de silicium.

Le substrat peut-il être personnalisé en différentes tailles et formes?

Oui. Le document fourni identifie spécifiquement différentes épaisseurs, finitions de surface, revêtements métallisés et géométries complexes comme paramètres de substrat personnalisables.

Pourquoi Si₃N₄ est-il pertinent pour les appareils SiC power?

Le document fourni décrit le comportement d’expansion thermique de Si₃N₄ comme étant étroitement lié au SiC, ce qui peut être avantageux pour la compatibilité thermomécanique dans les applications de dispositifs de puissance de troisième génération de semi-conducteurs.

Quelles informations devraient être fournies pour un devis de substrat personnalisé?

Un dessin technique est préférable. Les informations importantes comprennent les dimensions du substrat, l’épaisseur, les exigences thermiques, les exigences d’isolation électrique, la finition de surface, la métallisation, la température de fonctionnement et l’environnement d’application.

Les valeurs techniques de cette page sont-elles garanties pour chaque substrat en nitrure de silicium?

Non. Non. Le document source indique explicitement que ses informations sont à des fins de comparaison et que les caractéristiques exactes varient selon la méthode de fabrication. Les valeurs finales doivent être confirmées pour le matériau choisi, le procédé de fabrication et les spécifications des composants.

Substrat céramique en nitrure de silicium: faits clés

Produit:Nitrure de silicium substrat céramique

Matériel:Nitrure de silicium (Si₃N₄)

Fonction principale:Plateforme de gestion thermique, de support mécanique et d’isolation électrique pour appareils électroniques et modules de puissance.

Caractéristiques matérielles clés:Haute résistance mécanique, ténacité à la rupture, résistance aux chocs thermiques, isolation électrique, stabilité chimique et conductivité thermique en fonction de l’application.

applications typiques:modules IGBT, modules MOSFET, moteurs EV, onduleurs EV, stations de recharge EV, onduleurs solaires, électronique aérospatiale, capteurs haute température et composants RF.

Personnalisation:Épaisseur, finition de surface, revêtement métallisé et géométrie complexe.

options de métallisation identifiées dans la source:Au, Ag, Cu et Al.

Demander un substrat céramique en nitrure de silicium personnalisé

Envoyez votre dessin de substrat, les dimensions, les exigences thermiques, les exigences de surface ou les spécifications de métallisation à XIAMEN HUACIJULI pour l’évaluation d’ingénierie.

Item

Unit

Si3N4

Physical Property



Color

\

Gray   Black

Density

g/cm³

>3.2

Mechanical   properties



Rockwell hardness


HRA90

Vickers   hardness (Hv50)

HV0.5

>1550

Elastic modulus (20°C)

Gpa

290

Bending   strength(20°C)

Mpa

>600

Compressive strength (20°C)

Mpa

2500

Fracture   toughness (20°C)

Mpa·m¹/²

>6.0

Thermal properties



Thermal   conductivity

W/(m·K)

15-20

Coefficient of thermal expansion   (20°C-1000°C)

10⁻⁶K⁻¹

>3.1

Thermal   shock stability

△T°C

500

Specific heat capacity

KJ/Kg.K

700

Maximum   operating temperature (in air)

°C

1200

Electrical properties



Dielectric   strength (insulation strength)

KV/mm

1

Volume resistance (20°C)

Ω.cm

10^12


What is Silicon Nitride used for?

-Rotating ball bearings and rollers bearings
-Cutting tools
-Engine components: valves, rocker arm pads, and seal faces
-Induction heating coil supports
-Turbine blades, vanes, and buckets
-Welding and brazing jigs
-Heating Element components
-Crucibles
-Metal tube forming rolls and dies
-TIG / Plasma welding nozzles
-Weld positioners
-Precision shafts and axles in high
-wear environments
-Thermocouple sheaths and tubes
-Semiconductor Process Equipment

What are the advantages of Silicon Nitride?

Compared with other technical ceramics, the low thermal expansion coefficient of Silicon Nitride provides good thermal shock resistance. It is extremely hard, fracture-tough, surpasses the high temperature capabilities of most metals, and also has a superior oxidation resistance. As a consequence, silicon nitride can withstand the toughest conditions in the most demanding high-temperature and high-load applications.

What is the formula for Silicon Nitride?

The formula for silicon nitride is Si3N4.

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